MEMS : design and fabrication /

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書誌詳細
その他の著者:	Gad-el-Hak, Mohamed, 1945-
フォーマット:	図書
言語:	English
出版事項:	Boca Raton, FL CRC Press/Taylor & Francis Group 2006.
版:	Second edition
シリーズ:	Mechanical engineering series (Boca Raton, Fla.) The MEMS handbook
主題:	Microelectromechanical systems > Design and construction. Microfabrication. Microelectromechanical systems
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