MEMS : design and fabrication /
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| Format: | Livre |
| Langue: | English |
| Publié: |
Boca Raton, FL
CRC Press/Taylor & Francis Group
2006.
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| Édition: | Second edition |
| Collection: | Mechanical engineering series (Boca Raton, Fla.)
The MEMS handbook |
| Sujets: | |
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