MEMS : design and fabrication /
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| その他の著者: | |
|---|---|
| フォーマット: | 図書 |
| 言語: | English |
| 出版事項: |
Boca Raton, FL
CRC Press/Taylor & Francis Group
2006.
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| 版: | Second edition |
| シリーズ: | Mechanical engineering series (Boca Raton, Fla.)
The MEMS handbook |
| 主題: | |
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